洁净室(区)环境检测标准操作程序
1 目的:建立洁净室(区)环境控制监测标准操作程序。
2 范围:适用于洁净区(室)洁净空气控制指标监测标准操作。
3 责任者:质量部、QA、QC人员、车间有关人员。
4 程序:
4.1洁净空气尘粒数监测:
4.1.1洁净空气尘粒数的要求:水针、冻干粉针车间空气洁净度要求为10000级、100000级。10000级别的尘粒数要求为≥0.5ΜM的尘粒数不得高于350000个/M3;≥5ΜM的尘粒数不得高于2000个/M3.100000级别的尘粒数要求为≥0.5ΜM的尘粒数不得高于3500000个/M3;≥5ΜM的尘粒数不得高于20000个/M3。
4.1.2尘粒数检测方法:
4.1.2.1采用尘粒计数仪测定,按洁净室面积大小,限定的取样点数按下表规定,每点取样次数为3次。
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